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PVD离子源技术电镀类金刚石涂层
来源: | 发布日期:2022-09-06

由于类金刚石膜层具有许多与金刚石相似或相近的优良性能,如硬度高、弹性模量高、摩擦因数低、生物相溶性好、声学性能好、电学性能佳等。因此在工业各领域都有极大的应用前景,如作为工模具的耐磨及低摩擦涂层、扬声器振膜涂层、生物涂层、光学保护涂层、场发射器涂层、装饰涂层等。类金刚石涂层就可以通过PVD离子源技术 来实现。

PVD离子源技术

目前类金刚石膜层的研究、开发、制备及应用正向深度和广度推进。制备的方法很多:如离子束辅助沉积、磁控溅射、真空阴极电弧沉积、等离子体增强化学气相沉积、离子注入法等。但不同的制备方法,DLC膜的成分、结构和性能有很大的差别。要实现大批量、大面积、质优的DLC膜的应用,还存在不少问题,如制备成本高、单炉次批量不大、制备厚涂层难等。

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