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PVD真空镀膜膜厚的测试方法
来源: | 发布日期:2021-10-16

  PVD真空镀膜通过靶材,气体组合及控制面板的各种参数,通过真空炉内气相沉积,会电镀出各种各样的颜色,那么颜色的厚度是多少,有什么标准,用什么方法测试呢?下面简单做个简单的介绍。

测试的目的:检验膜层的厚度是否达到规定的标准和要求。

测试的方法:球磨测试厚度,破坏性横切面测试法

PVD真空镀膜

X-Ray测试厚度,荧光X-射线测厚法

球磨,X-Ray两种测试方法的区别:

1. 球磨横切面法可以检测金属层(Au、Ti、Zr、  Cr)和氧化物覆盖层(TiN,TiCN、 ZrN, CrN)厚度;属破坏性测试;

2.荧光X-Ray测厚法,检测金属层(Au、Ti、 Fe、 Cu、Zr、Cr等)厚度,无破坏性。

判定标准:膜层级别厚度标准(AAA、 AA、A、C、S)在行业中逐渐形成。

依据标准:球磨测试法,ISO1463  ( ASTMB487);  X-Ray测厚法:ISO3497(ASTMB568)

或许会有人问,这是什么机器及需要什么样的工具协助破坏产品,如何测试呢?如果你有兴趣,PVD真空镀膜厂家欢迎您现场亲临指导

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