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如何测量PVD涂层的厚度?
来源: | 发布日期:2021-12-17

PVD涂层属于微米级薄膜,厚度一般为0.1μm~2μm。这样薄薄的一层如何测量其厚度呢?森丰小编给大家分享一下几种常见的PVD涂层厚度测量方法。

PVD涂层

首先,可以通过球磨测厚,该方法只适用于平面产品,用金属球固定磨穿一个小孔,通过测量小孔的内外圆半径计算出PVD涂层的厚度,这种测厚方法也是破坏性的测试;其次,使用X-ray测量,这种测厚方法无破坏性且对产品形状要求不高。X-ray测量PVD涂层厚度时要注意程式设定及元素排位;第三,可以通过横截面测试PVD涂层厚度,这种方法也叫做切片测试,将样品切割开来进行样本镶嵌,再借助金相显微镜进行测量;此外,还有一种比较高端的方法SEM,即电镜扫描仪,测试前也需要通过切片镶嵌样本,SEM不仅能测出PVD涂层各层的厚度,而且还可以进行膜层表面形貌及成分分析。

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