真空电镀时造成掉膜的因素有很多也很繁杂。解决起來很棘手，能够考虑到从下列一些层面清除：

1.真空电镀工件表面洁净度

产品表面洁净度等级不足，可以考虑到离子源清洗时氩气变大、时间长点。

2.清洗过程中的问题

镀前清洗不及时，或调整了清洗液。

3.工艺的问题

工艺主要参数是不是有变化，在镀膜時间和电流量上做适度调节。

4.溅射靶材的问题

钛靶是不是中毒了，定期检查拆换。

5.真空电镀机内腔是不是漏汽

开展一次检漏。

6.产品表面氧化

氧化的因素许多，能够自主分辨解决。