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真空镀膜膜层出现膜外白雾的改善对策
来源: | 发布日期:2022-02-17

真空镀膜膜层出现膜外白雾的改善对策。

现象:膜层完成后,表面有一些轻微的白雾,用丙酮或混合物擦拭,会有越来越严重的现象。用氧化锆粉擦拭,可以擦拭或减少(也称为:可以擦拭压克)

分析:真空镀膜膜层出现膜外白雾的原因比较复杂,可能的原因有:

①、膜结构问题:外膜柱状结构松散,外膜粗糙;

②、蒸发角过大,膜结构粗糙。

③、温差:镜片出罩时内外温差过大。

④、潮气;透镜出罩后放置环境的潮气。

⑤、真空室内Polycold解冻时水气过多。

⑥、充氧不完全,膜结构不均匀。

⑦、膜与膜之间的应力。

真空镀膜膜层

改进思路:膜外白雾的原因很多,但各有特点,尽量对症下药。主要思路是使膜致密光滑,不易吸附,改善环境,减少吸附对象。

对策:

1、改善膜系统,在外层加入二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善透镜出罩时的环境(干燥、清洁)

2、降低出罩时的镜片温度(延长真空室冷却时间),减少温差和应力。

3、改善充氧(加大)和膜结构。

4、适当降低蒸发速率,改善柱状结构。

5、改善膜结构。

6、加上polycold解冻时的小充气阀(其功能是及时带走水蒸气)。

7、从蒸发源和夹具上找到改善蒸发角的方法。

8、提高基片表面粗糙度。

9、注意polycold解冻时的真空度。

以上是真空镀膜膜层出现膜外白雾的改善对策,如有其他问题,欢迎咨询:18018743855   0755-27865426

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