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真空镀膜常见问题
测量PVD涂层厚度的方法
来源: 时间:2022-12-29

PVD 涂层很薄,一般在20纳米到5微米不等,这薄薄的一层薄膜该如何测量其厚度呢?小编今天为大家简要分享PVD涂层厚度的测量方法。

PVD涂层

PVD涂层厂家常用的测量厚度的方法是球磨测试,利用一个小球将平面的产品磨穿,通过莱卡测量穿孔区域截面数值,再通过勾股定理计算出涂层的厚度。 这种PVD涂层厚度测量方法是破坏性得,并且只能测量平面产品,一般测量陪镀片。另外的测厚度方法就是X-ray,X-ray是可程式的,可以识别有基准片的PVD涂层的厚度,比如金色、玫瑰金PVD涂层,如果设备中没有对应的元素基准片则无法测量。有些元素甚至无法识别,例如铝元素。第三种PVD涂层测量方法就是切片测试,切片测试比较直观,但是切割镶嵌比较耗时,需要几个小时才能完成样品镶嵌,然后通过莱卡显微镜或者电镜进行截面的厚度测量。

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