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深圳真空电镀厂家告诉你膜色差异的改善方法
改进思路:充分利用修正板的功能。改进对策:
1、调整修正板,尽量考虑高低折射率膜材料的平衡兼容。如果有两个蒸发源,可以独立使用修正板,避免干扰。
2、条件许可采用行星夹具。
3、伞片整形,对伞片整形可以先加工一个R基模(选择强度较高的原材料),在基模上整形伞片。为防止伞片变形,订购伞片时应适当选择伞片的厚度和原材料。
4、加强伞片管理,特别是放置时,防止因放置不当而变形。
5、改善膜材料的状况,特别是电子枪蒸镀升华、半升华材料时,不能把膜料打塌,挖坑。
6、能自动预熔的膜料,尽量自动预熔,减少人为因素的影响。
修正板对物理膜厚度的修正非常有效,但对折射率的修正却力不从心,因此很难完全依靠修正板来解决分光均匀性。
如果一个修正板对应两把电子枪(蒸发源)和各种膜材料,就会有很大的困难。
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